產品介紹
四路質子混氣管式PECVD系統為了使化學反應能在較低的溫度下進行，利用了等離子體的紅心過來促進反應，因而這種CVD成為等離子體增強化學氣相沉積（PECVD）,內爐膛采用高質量的氧化爐陶瓷纖維可以提高設備加熱效率，同事也可以延長儀器的使用壽命。
主要特點：雖環境溫度在100-300℃，但反應氣體在輝光放電等離子體中能受激分解，離解和離化，從而大大提高了反應物的活性。因此，這些具有反應禍心個點中性物質很容易被吸附到較低溫度的基本表面上，發生非平衡的化學反應沉積生成薄膜
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常規爐型選型表
型號 | 規格φ*L(mm) | 最高溫度（℃） | 輸入電源/功率（V/KW） |
SK2-2-12TPA2 | φ40*L205 | 1200℃ | 220V/2KW |
SK2-3-12TPA3 | φ40*L350 | 1200℃ | 220V/3KW |
SK2-4-12TPA4 | φ40*L440 | 1200℃ | 220V/4KW |
SK2-4-12TPA3 | φ60*L205 | 1200℃ | 220V/4KW |
SK2-4-12TPA3 | φ60*L350 | 1200℃ | 220V/4KW |
SK2-5-12TPA3 | φ60*L440 | 1200℃ | 220V/5KW |
SK2-5-12TPA3 | φ80*L205 | 1200℃ | 220V/5KW |
SK2-6-12TPA3 | φ80*L350 | 1200℃ | 220V/6KW |
SK2-5-12TPA3 | φ80*L440 | 1200℃ | 220V/5KW |
SK2-6-12TPA3 | φ100*L205 | 1200℃ | 220V/6KW |
SK2-7-12TPA3 | φ100*L350 | 1200℃ | 220V/7KW |
SK2-2-14TPA3 | φ100*L440 | 1200℃ | 220V/8KW |
備注 | 可定制各種異型尺寸 | 雙溫區 | 多溫區 |
細節展示
IPv6 network supported
