旋轉式泵送速度

50赫茲： 16 m3/h (4.4 L/s) / 60 Hz： 19.2m3/h (5.2 L/s)

渦輪分子泵的速度

600L/s

真空極限

5x10-4Pa

最大蒸發電流

100A

工作壓力

5x10-3Pa

抽真空時間

5 Min ( 2Pa )

真空測量

測量范圍從大氣到1x10-5Pa

真空室尺寸

(p250*300mm(高度)耐刮擦石英玻璃

蒸發目標源

目標材料：碳棒（(p5mm)/目標源： 碳棒

操作方法

使用說明書

重量/尺寸

80kg/長900mm×寬510mm×高1100mm

電源

AC 110V 60Hz或AC 220V 50Hz

耗電量

＜3000W

保修

一年有限保修，終身產品支持