技術參數
真空泵組 | (需用油）旋轉真空泵+（無油）渦輪分子泵組 |
旋轉泵的速度 | 50Hz： 16 m3/h (4.4 L/s)/60Hz： 19.2m3/h (5.2 L/s) |
分子泵的速度 | 300 L/s |
真空極限 | 5x10-5 Pa |
工作壓力 | 0.5-5 Pa |
抽真空時間 | ＞10 Min ( 10-3Pa ) |
真空測量 | 測量范圍從大氣到1x10-6Pa |
氣體控制 | 氣體流量控制器 |
腔體大小 | φ260*200mm(高)金屬 |
磁控靶源 | 目標尺寸φ50*3mm(銅)/目標源： 弱磁性物質/材料 |
操作方法 | 說明書 |
重量/尺寸 | 100kg/長610mm×寬420mm×高490mm |
電源 | AC 110V 60Hz或AC 220V 50Hz |
耗電量 | ＜3000W |
冷卻消耗 | 風冷（泵）+水冷（濺射靶）。 |
保修期 | 一年有限保修，終身產品支持 |
IPv6 network supported
