技術參數
真空泵 | (需要用油) 旋轉真空泵 |
旋轉泵的速度 | 50Hz:16m3/h(4.4L/s)/60Hz:19.2m3/h(5.2L/s) |
真空極限 | 2Pa |
最大濺射電流 | 1.6A |
工作壓力 | 20Pa-8Pa |
抽真空時間 | ＜5Min(2Pa) |
真空測量 | 測量范圍從大氣到2x10-2mbar |
氣體控制 | 氣體流量控制器 |
腔體大小 | φ350*240mm（高）耐刮擦石英玻璃 |
目標來源 | 靶材尺寸φ200mm/靶材來源： 金、銀、鉑、銅 |
操作方法 | 使用說明書 |
重量/尺寸 | 70kg/長490mm×寬400mm×高590mm |
電源 | AC110V 60Hz或AC220V 50Hz |
耗電量 | <1500W |
保修 | 一年有限保修，終身技術支持 |
IPv6 network supported
