簡介
離子濺射鍍膜機（SD900 型號）是實驗室SEM樣品制備的理想選擇。 它廣泛用于在非導電SEM樣品上涂上Au以獲得更好的成像效果。它也非常適合表面處理。
使用適當的真空泵可在2分鐘內迅速達到工作真空壓力。它產生的熱量少得多。它對用戶友好且易于操作。
鍍膜儀包含有真空泵。
參數
真空泵 | （泵油）旋轉真空泵 |
旋轉真空泵轉速 | 50 Hz: 8m3/h (2.2L/s)/ 60Hz: 9.6m3/h (2.6L/s) |
極限真空度 | 2Pa |
最大蒸發電流 | 0-20mA |
工作壓力 | 30Pa-7Pa |
抽真空時間 | <5Min(2Pa) |
真空測量 | 測量范圍從大氣壓到2*10-2mbar |
氣體控制 | 氣體流量控制閥 |
腔體尺寸 | Φ150*120mm (高) 抗刮石英玻璃 |
磁控靶源 | 靶尺寸φ50*0.1mm(金)/濺射靶源: 金、銀、鉑 |
操作方法 | 操作手冊 |
重量/尺寸 | 45kg/360mm長 x 300mm 寬x 380mm 高 |
電源 | AC 110V 60Hz 或 AC 220V 50Hz |
電源功率 | <1500W |
冷卻方式 | 風冷 |
質量保證 | 一年有限質量保證/保修/支持 |
IPv6 network supported
